無塵室的定義

無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。

無塵室是指可以將環(huán)境因素控制在規(guī)定數(shù)值內(nèi)的空間，稱之為無塵室。室內(nèi)環(huán)境因素包括 空氣中：微生物、微塵粒、氣體分子、溫度、濕度、氣流流型、風(fēng)速、壓差、照度、噪音、微振動、靜電、風(fēng)量、電磁波等無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的 微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特 別設(shè)計(jì)之房間。

亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。它是污染控制的基礎(chǔ)。控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。

無塵室也稱潔凈室，是指一個具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講，一個凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用大顆粒大小來厘定的。

低級別的凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的（如沒有受控的微生物），更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。

凈室被廣泛地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等，其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi)，才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施，凈室可以占據(jù)廠房很多位置。

無塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，潔凈室內(nèi)的制造區(qū)（FAB）。一般而言，制造潔凈空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經(jīng)過潔凈室系統(tǒng)各種處理單元設(shè)備之處理后進(jìn)而得到符合規(guī)格之潔凈空氣。

以下簡單介紹其處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱（Make-up Air Unit或MAU）初步過濾微塵（particle）并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風(fēng)管道間（Mech. Chase），將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風(fēng)扇（Fan Filter Unit或FFU）帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。